测量系统分析（MSA）评估测量结果中由测量系统引入的变异。对计量型数据常用 GRR（量具重复性与再现性）研究：重复性反映同一操作者多次测量同一零件的差异，再现性反映不同操作者之间的差异。

若测量系统变异过大，过程数据将无法区分真实波动，后续控制图和过程能力分析都会失真。计数型量具通常采用小样法或属性一致性分析。判定准则以手册（如 MSA 手册）和客户要求为准。